在清潔無塵的車間里，一枚枚形狀酷似黑膠唱片的硅片在工藝線上有序流轉，經歷倒角、研磨、腐蝕、熱處理、拋光……日前，杭州中芯晶圓半導體股份有限公司的首批8英寸（200mm）半導體硅拋光片順利下線。
這是出自杭州制造的第一批大硅片，意味著杭州半導體產業在制造領域往前邁出了一大步。據悉，中芯晶圓的12英寸硅片也將于今年12月下線，未來量產后企業可實現8英寸半導體硅片年產420萬枚、12英寸半導體硅片年產240萬枚。
在業內，芯片被比喻為一座微型城市，上面有著長度達數公里的導線以及幾千萬甚至上億根晶體管。而硅片，就是讓這些元件“安家落戶”的“地基”。
硅片制造對制程技術、環境設備的要求很嚴，且硅片越大要求越嚴。
目前國內半導體硅片大多只能達到4至6英寸硅片的性能需要，少量能供應8英寸市場，但在12英寸硅片領域幾乎是空白。另一面則是，大硅片在新興產業領域有極大應用。比如，8英寸硅片被多用于傳感、安防領域以及電動汽車、高鐵等功率器件。12英寸硅片的應用主要是邏輯芯片和記憶芯片，用于無人駕駛等領域。
由日本Ferrotec株式會社、杭州大和熱磁電子有限公司及上海申和電子有限公司共同投資成立的中芯晶圓，是我國半導體大尺寸硅片生產的“標桿工廠”。2017年9月28日，中芯晶圓落戶錢塘新區，首個項目包括3條8英寸（200mm）、兩條12英寸（300mm）半導體硅片生產線。
隨著昨日第一批大硅片的產出，該項目進入送樣試產階段，預計今年10月就能實現8英寸硅片的量產。同時，12英寸硅片也將在今年12月完成下線、送樣認證，于明年實現量產。
“從去年2月打下第一根樁到現在產品下線，我們總共用了16個月。”Ferrotec中國董事局主席、CEO賀賢漢表示，中芯晶圓之所以能創造大硅片項目的“杭州速度”，與省、市以及錢塘新區各級各部門的全力支持和“管家式”服務密不可分。
據悉，整個項目達產后將成為國內規模最大、技術最成熟的大尺寸半導體硅片生產基地，實現8英寸半導體硅片年產420萬枚、12英寸半導體硅片年產240萬枚，年產值近40億元。
作為數字經濟的核心產業，集成電路是杭州打造“數字經濟第一城”過程中重點培育的產業。經過多年發展，杭州集成電路產業已經涵蓋設計、制造、封測、材料和裝備全產業鏈領域。目前，全市擁有集成電路企業122家，其中規上企業87家。
值得一提的是，杭州在芯片設計領域具有比較優勢。數據顯示，去年全市設計領域的企業數量和業務收入分別占全省80%、90%以上。2018年，全市集成電路規上企業主營業務收入190.53億元，同比增長6.2%。其中設計業實現銷售收入118.34億元，設計規模僅次深圳、北京、上海，位列全國第四。
“杭州在芯片設計領域優勢明顯，但我們在制造領域基礎相對薄弱。這次中芯晶圓大硅片項目的落地，不僅填補了杭州在硅片制造方面的空白，也會對整個產業鏈發展起到推動作用。”杭州市經信局副局長楊曉勇說，杭州正在集成電路全產業鏈上“做文章”，未來會通過項目引進和本地培育等方式，重點在模擬芯片制造、化合物半導體制造、存儲類芯片制造等領域進行布局。
事實上，杭州集成電路產業近年來發展動能強勁，一個很重要原因是產業政策的支撐。早在去年7月，杭州就出臺集成電路產業的首個專項政策——《進一步鼓勵集成電路產業加快發展專項政策》，重點支持企業創新研發、IP設計、掩膜流片、投資技改和首用推廣。
據悉，該政策發布以來已經支持29個集成電路產業發展項目，為企業和產業發展起到了良好的助推作用。 來源：浙江在線
