近日，在瑤光半導體（浙江）有限公司（以下簡稱“瑤光”）與浙工大莫干山研究院聯合實驗室內，企業的技術人員正對一臺激光退火設備進行調試，再過幾天，這臺價值近700萬元的設備將被運往客戶手中。
“從今年4月企業簽約落地到實現生產，前后不過4個多月時間，可以說是跑出了加速度。”瑤光半導體（浙江）有限公司CEO葉忠平說。
瑤光是莫干山研究院今年引進的標志性項目之一，主要從事第三代寬禁帶半導體制程設備的研發、生產和銷售，目前公司已完成瑤光閉環溫度控制系統，并擁有瑤光功率芯片背面激光退火方法，自主創新瑤光SiC外延生長方案，惰性氣體屏障技術等多項專有技術。
“目前我們已實現公司拳頭產品——激光退火設備的量產，具備逐行退火以及局部退火兩種模式的選擇，目前正在進行MOCVD外延設備的研發。”葉忠平介紹，近年來，受到國外對我國出口半導體設備的限制、國產化需求的升溫，我國半導體行業一直在加速奔跑。為順應行業發展趨勢，拓展國內市場，公司在研發時，一直在追求實現生產更高效、可靠性更高。
搶占市場并非易事。“我們的激光退火設備已能夠實現節拍300秒的生產效率。”葉忠平自信地說，節拍300秒，即在從抓取晶圓到芯片完成激光退火的完整周期是300秒，領先于其他同類型設備，能有效為企業降低生產成本。不僅如此，在智能制造的浪潮之下，企業不斷擴大研發投入，加大自主創新力度，賦能半導體產業國產化。“預計在今年第四季度，我們能夠完成MOCVD外延設備的裝配，填補國內市場的空白。”
目前，該公司正在加緊布局莫干山研究院產業創新園的生產空間以擴大產能，預計今年第四季度投入使用。“這里的一期項目設置了1000平方米的萬級潔凈度無塵車間，在二期項目中我們規劃了2500余平方米的百級、千級、萬級無塵車間，滿足設備不同的生產要求。”葉忠平表示，未來，公司將積極推動自主研發，突破核心技術的束縛，推動產業鏈向高端制程的邁進，并與芯片研發制造企業共創，共同推動技術的進步和創新。
（來源：湖州市科技信息研究院）
