（2018-07-10）
盛夏時節，位于余姚經濟開發區的寧波江豐電子材料股份有限公司一派繁忙景象：生產車間里，工人們加緊調試設備；凈化車間，一塊塊閃爍著奇異光澤的金屬“圓餅”等待清洗包裝：這種由鋁、鈦、銅、鉭等超高純金屬經特殊工藝加工而成的產品，是芯片超細金屬導線的基礎材料。它們就是超高純金屬濺射靶材。最近，由江豐電子牽頭的國家“45-28nm 配線用超高純系列濺射靶材開發與產業化”項目以高分通過驗收。
半導體芯片是信息時代的基石，也是尖端制造的制高點。多年來，海歸博士、國家“千人計劃”專家姚力軍帶領團隊，在濺射靶材這一細分領域填補了多項國內空白。時至今日，江豐電子生產的靶材已出口到全球280多個半導體芯片制造工廠。
“為中國制造增添光榮，賦予中國制造更多內涵。”這句高懸在江豐電子展廳內的標語，正逐漸變為現實。
芯片生產過程中，不同靶材在一起交互作用，金屬原子被一層一層濺射到芯片上，再利用特殊工藝切割成納米級的金屬導線。
“普通金屬純度通常只有99.8%，而濺射靶材的純度通常高達99.999%以上。提純，是金屬靶材制造的第一道關卡。此外，晶粒晶相排列控制、無縫焊接乃至最后的清洗封裝等技術環節都要求盡善盡美。”江豐電子總工程師王學澤介紹。
超高的要求，意味著只有極少數企業才能脫穎而出。江豐電子擁有全球最大的集成電路靶材機加工車間，精密加工用的裝備，絕大多數都是與國內機構一起設計、研發。 “十一五”“十二五”期間，江豐電子連續承擔國家科技重大專項，研制超高純金屬濺射靶材。
走進生產車間，一臺拱徑1米的碩大軋機映入記者眼簾。“不同于普通軋機，靶材在壓軋過程中要對溫度、壓力等核心參數進行上千次實驗測算，只有這樣，才能保證坯料里頭的原子變形均勻，從而使濺射靶材的晶粒晶相實現精確控制。”王學澤介紹。
“沒有金剛鉆，不攬瓷器活”。隨著芯片技術節點越做越小，靶材高純化和大型化趨勢不斷凸顯，超大規格熱等靜壓設備的研發、使用成為必然。
“這是世界上頂級的金屬焊接技術，高溫高壓作用下，金屬接觸面上的原子會自動實現無縫擴散，不僅不需要任何焊料，效率還很高。”王學澤指著一臺剛剛向國內企業定制的熱等靜壓機舉例道，“它的直徑超過1.2米，高度4.5米，工作環境可達200MPa（2000個大氣壓）和1450攝氏度高溫，相關技術參數均達國際先進水平，未來將在大尺寸平板顯示靶材研發上發揮巨大潛能。”
一家具有國際競爭力的靶材企業，除了要不斷提高自主研發能力，還應當擁有一套行之有效的企業生產管理體系。隨著創業的不斷深入，姚力軍和同事們逐漸意識到這一點。
2011年，美國一個大客戶為培育未來供應商，給江豐電子提出了包含質量管理、安全生產、社會責任在內的總計30多個模塊、幾百項內容的門檻標準。遺憾的是，經過一年的努力，江豐電子沒能通過對方審核。
好不容易和“國際大咖”握上手，結果還是被拒之門外，這給年輕的江豐電子上了一課。
“實踐證明，靶材生產不同于一般制造業，不是樣品合格就行，你的生產管理體系也要精益求精。”王學澤告訴記者，那之后，江豐電子又花了兩年多時間進行針對性整改，當對方最后終于滿意地點頭后，不少年輕員工當場流下了熱淚。
學習日本先進的5S現場管理模式、打造鏈條完善的產品質量保障體系、提升一線員工客戶服務意識……對標國際一流，江豐電子從零出發、不斷探索，他們的成長速度讓不少客商豎起大拇指。
“我們有時會開玩笑說自己是‘做餅’的人，在濺射靶材這個領域，我們的目標就是做到全球第一。”姚力軍說。
要做到全球第一談何容易？從原材料提純到加工生產再到認證評價，靶材研發周期長、見效慢。苦練內功之余，江豐電子不斷整合產業鏈，向上游原材料行業拓展。
這幾年,在姚力軍和江豐電子團隊的吸引下，一批國家、省“千人計劃”專家集聚寧波余姚，創潤新材料等一大批高科技企業嶄露頭角，當地以江豐電子為龍頭的半導體芯片全產業鏈集群年產值已高達數十億元。
2017年6月，江豐電子在創業板成功掛牌。有了資本力量的支持，靶材新產品研發生產邁上快車道。購置重大裝備、試水智能生產、加速全球布局……眼下，江豐電子科研人員正在全力攻堅“10-7nm”技術節點靶材技術。
“根據最新研究，芯片金屬導線寬度在理論上最細能達到1納米，也就是4個銅原子的寬度，這是人類有史以來最精細的制造技術，也是我們努力的目標。”王學澤說。
(新聞來源：浙江日報)
